基于流场仿真的碳/碳复合材料CVD过程中的沉积现象

来源 :武汉大学学报(工学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:hyron2005
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为研究反应气的流场分布对航天用碳/碳复合材料生产过程中化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)沉积效果的影响,采用三维仿真模型,模拟2种构型的立式反应炉中反应气体的流动过程,并建立了全组分扩散模型来描述CVD过程中气体分子间的扩散过程.结合2种构型反应炉的实际生产结果,提出了在CVD反应炉结构设计过程中应该考虑流场分析的建议.
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