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在以往投影法测量三维面形的装置中，其产生激光干涉投影条纹的装置较大，且干涉条纹较容易受外界的影响而漂移和抖动，影响测量结果精度的提高，本文提出用离轴全息干涉条纹替代投影法的激光干涉仪投影条纹，并将其用于实际测量中，实验结果表明：该方法产生干涉条纹的装置简单，且不受外界振动的影响，光能利用率高，易于移相和解调，这使得三维形貌检测精度高、速度快，实用性更强。