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针对量子元胞自动机电路中存在的元胞移位、元胞未对准、元胞遗漏、元胞旋转等固有缺陷,采用概率转移矩阵方法建立了一位QCA数值比较器的可靠性模型,并对其可靠性进行了深入分析.对于不同的输入,分别比较了各组成元件在同样的故障概率水平下对整体可靠性(正确输出的概率)的不同影响.仿真结果表明,在所有的输入情况下传输线始终是影响其可靠性的主要因素,从而确定了传输线在该数值比较器中的重要性,进而为大规模QCA数值比较器的设计以及可靠性的提高提供了依据.