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基于衍射光学原理，获得了微透镜的衍射效率与蚀刻深度之间的关系式。研究表明，离子束蚀刻中目前采用的时间控制法可满足Ｌ＝１时的微透镜微加工要求，但未能满足Ｌ〉１时的微透镜微加工要求。对Ｌ〉１的情形，需要提高蚀刻深度控制精度以使蚀刻深度的误差小于８７ｎｍ。
离子束蚀刻微透镜中蚀刻深度允许误差的研究
【摘 要】
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基于衍射光学原理，获得了微透镜的衍射效率与蚀刻深度之间的关系式。研究表明，离子束蚀刻中目前采用的时间控制法可满足Ｌ＝１时的微透镜微加工要求，但未能满足Ｌ〉１时的微透镜微加工要求
【机 构】
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华东冶金学院自动化系,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1999年1期
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