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硅纳米线由于量子限制效应,表现出与体材料不同的物理性质。文章概述了国内外对硅纳米线结构、形貌、成分和力学、电学等物理特性的表征研究的最新进展,揭示了硅纳米线尺寸、表面结构和粒子这三者与性能之间的关系。最后介绍硅纳米线表征研究成果在纳米器件上的应用,并对硅纳米线制备技术和表征技术在未来的发展做了展望。