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动态比对法的校准范围是10^-4t～10^-1pa，属于高真空范畴。本文分析了影响动态比对法的6个不确定度分量，并给出了不确定度的报告。
真空计量装置在动态比对法中的测量不确定度评定
【摘 要】
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动态比对法的校准范围是10^-4t～10^-1pa，属于高真空范畴。本文分析了影响动态比对法的6个不确定度分量，并给出了不确定度的报告。
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2009年6期
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