化学镀非晶态Pd膜制备工艺的优化研究

来源 :桂林电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xin24
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采用化学镀方法施镀可获得致密吸附性好的单颗粒钯膜。通过对比不同试验条件,对化学镀钯膜的过程中所涉及到的工艺条件,包括施镀温度、施镀时间、pH值进行优化,结合SEM、XRD、EDS等分析手段对实验所得钯膜进行表征。实验表明,在温度为70℃,施镀时间2h,NH4OH的浓度4.5mol/L,pH值9.8的施镀条件下,得到膜厚约为0.6μm非晶态合金镀层,具有良好的导电性、抗腐蚀性和硬度,结构致密不易破损脱落,并且其成分较纯,不含其它杂质。
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