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用对向靶直流溅射系统制备了c轴垂直取向的钡铁氧体薄膜.用少量的Al来取代Fe,从而制备了成分为BaAlxFe12-xO19 (x=0, 1, 2)的钡铁氧体薄膜.研究了Al取代Fe对其结晶学性能、磁学性能的影响.研究了退火效应及基板温度对薄膜性能的影响.获得了c轴垂直取向的具有高矫顽力和大矩形比的钡铁氧体薄膜.