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本文对硅悬臂梁谐振子的光激励进行了研究，从理论计算和实验两方面分析了悬臂梁谐振器的光激励特性。获得了谐振器响应的幅频特性曲线和激励光斑位置与谐振器输出关系的曲线。本文的结果为全光型微机械谐振器的研究提供了理论依据。
硅微谐振器的光激励
【摘 要】
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本文对硅悬臂梁谐振子的光激励进行了研究，从理论计算和实验两方面分析了悬臂梁谐振器的光激励特性。获得了谐振器响应的幅频特性曲线和激励光斑位置与谐振器输出关系的曲线。
【机 构】
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浙江大学信电系硅材料国家重点实验室
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1998年6期
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