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LTCC埋置电阻由于其无法通过激光调阻进行阻值的修正,因此其制备工艺对于阻值的精度起着决定性的作用。本文通过电阻浆料流变特性优化、印刷工艺优化和共烧曲线调整等手段,实现了埋置电阻阻值精度由±30%提高到±18%,能够进一步满足高精度LTCC基板的应用需求。
LTCC高精度埋置电阻制备工艺研究
【摘 要】
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LTCC埋置电阻由于其无法通过激光调阻进行阻值的修正,因此其制备工艺对于阻值的精度起着决定性的作用。本文通过电阻浆料流变特性优化、印刷工艺优化和共烧曲线调整等手段,实
【机 构】
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河北半导体研究所;
【出 处】
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中国战略新兴产业
【发表日期】
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2018年36期
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