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采用任意拉格朗日—欧拉（ALE）描述建立了无阀微泵的静电-结构-流体全耦合三维模型,数值仿真表明：泵内流体的动态特性与泵膜的运动存在着密切的关系;扩散/收缩口单元两端的压力差必须达到一定值后才有＂整流＂泵送效用;泵腔内流体压力的分布几乎一致;流体流动的最大雷诺数远小于宏观条件下认定的临界雷诺数;流体黏滞损失的非线性不容忽视。