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讨论微细加工与装备技术现状，介绍刻蚀技术、LIGA技术和准LIGA技术、微细特种加工等典型的微细加工工艺原理与技术特点，并指出各种加工方法的优缺点，分析微细加工技术的发展走向及装备技术的发展趋势。
微细加工与装备技术进展
【摘 要】
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讨论微细加工与装备技术现状，介绍刻蚀技术、LIGA技术和准LIGA技术、微细特种加工等典型的微细加工工艺原理与技术特点，并指出各种加工方法的优缺点，分析微细加工技术的发展走向
【机 构】
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河南理工大学机械与动力工程学院
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2006年6期
【基金项目】
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河南省重点学科资助,河南省重点攻关项目（0523021600）,河南省创新人才基金项目（0421001200）,河南省自然科学基金项目（04l1053500）
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