氢原子谱线测定EACVD中电子平均温度

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qq182894393

【摘要】

：

采用蒙特卡罗方法, 对以CH4/H2混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟. 在模拟中考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα, Hβ, H

【作者】

：

尚勇董丽芳王志军

【机构】

：

河北大学物理科学与技术学院

【出处】

：

光谱学与光谱分析

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

EACVD 平均温度氢原子测定蒙特卡罗方法振动激发电子激发碰撞过程金刚石薄膜 CH4 发射过程混合气体弹性碰撞动量传输相对强度实时监测

【基金项目】

：

河北省自然科学基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用蒙特卡罗方法, 对以CH4/H2混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟. 在模拟中考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα, Hβ, Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程; 与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程. 研究了不同CH4浓度下基片表面上电子平均温度与氢原子谱线相对强度的关系, 给出了一种对EACVD中电子平均温度进行实时监测的方法. 对于有效控制工艺条件, 生长出高质量的金刚石薄膜具有

其他文献

积极引导注重实效全力推进农机合作组织健康发展

近年来，稷山县农机局把引导扶持发展农机专业合作社作为推动农村经济社会发展的大事来认识，作为推动农业机械化进程的重要载体来谋划，作为推动农机管理工作的重点来部署，工作力度

期刊

农机局合作组织引导健康经济社会发展农机管理工作专业合作社农业机械化

《汽车总动员》

故事发生在一个十足拟人化的奇特汽车世界里，主角是一辆时髦拉风的赛车“闪电麦奎恩”。

期刊

基于小波多尺度特征匹配的类星体红移测量方法

在中国正在实施的大型巡天项目（LAMOST项目）中，预计能获得10^5数量级的类星体光谱。文章旨在研究适用于LAMOST观测数据的类星体红移测量方法。为了克服信噪比较低的不利因素，文章

期刊

小波变换特征提取特征匹配宽发射线Wavelet transform Feature extraction Feature matching Bro