【摘 要】
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NanoSciences公司(位于美国康涅狄格州的Oxford)的研究人员,成功地开发了一种核心微加工工艺技术。可以在半导体材料上加工出深宽比十分高的,微细深沟道。此项核心技术在
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NanoSciences公司(位于美国康涅狄格州的Oxford)的研究人员,成功地开发了一种核心微加工工艺技术。可以在半导体材料上加工出深宽比十分高的,微细深沟道。此项核心技术在
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