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采用磁控溅射镀膜方法 ,在锂铁氧体材料表面 ,制备了 Cu- Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点 ,对整个工艺过程进行了分析研究 ,对制备的 Cu- Ti复合金属波导膜系进行了性能测试 ,结果表明 ,用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求
锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺
【摘 要】
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采用磁控溅射镀膜方法 ,在锂铁氧体材料表面 ,制备了 Cu- Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点 ,对整个工艺过程进行了分析研究 ,对制备的 Cu- Ti复合金属波导
【机 构】
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扬州大学,扬州大学,扬州大学,扬州大学 江苏扬州225009,江苏扬州225009,江苏扬州225009,江苏扬州225009
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2002年01期
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