摩擦力—划痕法评定PVD多层薄膜结合强度研究

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huruiwangmin

【摘要】

：

采用摩擦力-划痕法评定了PVD Ag-Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为LC1、LC2,其中LC1随膜厚的增加而减小,LC2随膜

【作者】

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朱有利黄元林石宗利李重庵

【机构】

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装甲兵工程学院材料科学与工程系,兰州铁道学院土建学院工程力学所

【出处】

：

中国机械工程

【发表日期】

：

2002年11期

【关键词】

：

摩擦力-划痕法 PVD 多层薄膜综合强度 friction-scratchPVDmultilayer filmadhesion

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采用摩擦力-划痕法评定了PVD Ag-Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为LC1、LC2,其中LC1随膜厚的增加而减小,LC2随膜厚的增加变化不大,且和Ti单层膜的LC值相近.这与膜厚及膜内应力变化有关.实验结果表明,采用摩擦力-划痕法评定多层薄膜结合强度有其独特的优点.可以确定多层膜中不同膜层的LCi值,并以此来表征各层或某些层的结合强度值.

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