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微结构气敏传感器是利用微电子，微机械和薄膜等技术制作的新一代的气敏元件。本文报道有凶方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用。结果表明，有限元方法可用于模拟膜片上的温度分布和器件功耗，对器件结构有很好的指导作用。
有限元方法在微结构气敏传感器设计中的应用
【摘 要】
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微结构气敏传感器是利用微电子，微机械和薄膜等技术制作的新一代的气敏元件。本文报道有凶方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用。结果表明，有限元方法可用于模拟膜片上的
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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1999年10期
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