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双面抛光机作为超精密加工的重要设备，它的加工质量主要由工件表面加工轨迹和抛光机的振动所决定。作为抛光机的关键因素之一，工件表面的加工轨迹和内外齿圈齿比有着直接的联系。调整内外齿圈齿比是双面抛光机进行生产之前最重要的一件事。最新的研究表明，双面抛光机的振动也与内外齿圈齿比有很大的联系，但是具体的关联理论尚不明确。文章通过具体实验调整内外齿圈齿比得到1个优化的参数使双面抛光机的振动减小，为固定内外齿圈齿比双面抛光机的制造提供参考。同时在实验中，还发现了抛光机振动与加工轨迹的1个新的关系。图1表2参14