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以往介绍的动态光电显微镜瞄准技术,通常是指刻线单向运动时和固定狭缝的重复瞄准方法.而本文介绍的是指刻线在双向运动中可逆的重复瞄准技术.文章对这种高精度的线纹瞄准装置结构,电路特点及瞄准准确度作了介绍.该装置在实际应用中,获得动态可逆瞄准准确度为0.07μm.
动态可逆光电显微镜瞄准技术
【摘 要】
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以往介绍的动态光电显微镜瞄准技术,通常是指刻线单向运动时和固定狭缝的重复瞄准方法.而本文介绍的是指刻线在双向运动中可逆的重复瞄准技术.文章对这种高精度的线纹瞄准装
【机 构】
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南京师范大学控制科学与工程系
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2001年9期
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