【摘 要】
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工业加热炉中,受高温环境的影响一般探测器无法测量工件的真实温度。针对工业加热炉温度检测问题,设计了多晶硅红外探测器实时测温系统。通过黑体炉对探测器的输出与环境温度的关系、以及光电转换性能进行测试;结果为工作环境温度超过30℃时输出急剧减小,且随着目标温度升高,动态范围减小。设计在探测器前端增加衰减片和一种具有夹层结构的防护罩,结果表明该系统有效拓展了多晶硅红外探测器的动态范围,保障探测器的环境温度在30℃范围内,测量精度达到0.85℃,满足工业要求,解决了多晶硅红外探测器在工业加热炉上的应用。
【机 构】
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合肥师范学院物理与材料工程学院,安徽省光电感测工程技术研究中心
【基金项目】
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安徽省高校自然科学研究重点项目(KJ2020A0125)资助。
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工业加热炉中,受高温环境的影响一般探测器无法测量工件的真实温度。针对工业加热炉温度检测问题,设计了多晶硅红外探测器实时测温系统。通过黑体炉对探测器的输出与环境温度的关系、以及光电转换性能进行测试;结果为工作环境温度超过30℃时输出急剧减小,且随着目标温度升高,动态范围减小。设计在探测器前端增加衰减片和一种具有夹层结构的防护罩,结果表明该系统有效拓展了多晶硅红外探测器的动态范围,保障探测器的环境温度在30℃范围内,测量精度达到0.85℃,满足工业要求,解决了多晶硅红外探测器在工业加热炉上的应用。
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