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本文介绍了一种在平移过程中倾斜误差远小于秒级的光学精密平移器(以下简称精平移器)的工作原理及应用范围,介绍了该器件的作用原理以及附加的位移平衡装置的作用。对各项性能指标的检测方法及其检测结果也进行了阐述。
光学精密平移器
【摘 要】
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本文介绍了一种在平移过程中倾斜误差远小于秒级的光学精密平移器(以下简称精平移器)的工作原理及应用范围,介绍了该器件的作用原理以及附加的位移平衡装置的作用。对各项性
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所成都,610209,成都,610209
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1992年1期
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