La掺杂Bi4Ti3O12薄膜的溶胶-凝胶制备工艺研究

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chrisl0708

【摘要】

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采用溶胶-凝胶法合成了Bi4Ti3O12（简称BTO）和La掺杂Bi4-xLaxTi3O12（简称BLT）薄膜，通过TG-DTA、XRD、AFM等技术手段研究了薄膜的制备工艺、相组成和微观形貌。研究表明：用乙醇铋（自制

【作者】

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王文栗华美孟庆昌贾德昌周玉

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【出处】

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稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2008年A01期

【关键词】

：

La-掺杂 BLT铁电薄膜制备工艺 La-doped BLT ferroelectric thin film synthesis

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目（50502013）,黑龙江省青年基金项目（QC05C06）

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采用溶胶-凝胶法合成了Bi4Ti3O12（简称BTO）和La掺杂Bi4-xLaxTi3O12（简称BLT）薄膜，通过TG-DTA、XRD、AFM等技术手段研究了薄膜的制备工艺、相组成和微观形貌。研究表明：用乙醇铋（自制）、钛酸正丁酯和硝酸镧作为原料，乙二醇、冰乙酸作为溶剂，在Pt（111）／Ti／SiO2／Si结构的基片上，Sol-Gel法旋涂的薄膜经60℃干燥，反复涂覆5次，60℃干燥，300℃除有机物，550℃快速热处理10min可得到钙钛矿相BTO薄膜。600℃快速热处理的薄膜比随炉冷却的薄膜均匀致

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