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研究了光学内由曲面轮廓误差评定中被测曲面和设计曲面的匹配方法。在曲面中心重合和近似法矢重合的基础上，提出了五点预定位法，即先定义曲面中心，然后利用搜索的方法得到相互间距离最大的4个角点，通过这5个点的匹配实现曲面的预定位。在精调整中，提出了二次优化方法，即综合运用最小二乘法和最小条件原则进行曲面的高精度匹配，并进行了仿真实验。实验结果表明，匹配精度可达纳米级。最后通过一个非球面实测实验。证明了算法的有效性。