2kW TE CO2激光器放电等离子化学过程的四极质谱研究

来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wspywps110

【摘要】

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用四极质谱定量分析方法观察了2kW TE CO_2激光器放电过程等离子化学现象.在16mA/cm~2电流密度条件下,CO_2分解量为初始注入量的20%,停止放电后基本恢复.系统达到均匀平稳约

【作者】

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赵维义邹畹珍范永昌李锋

【机构】

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华中理工大学物理系,华中理工大学激光技术国家实验室

【出处】

：

华中理工大学学报

【发表日期】

：

1993年4期

【关键词】

：

CO2激光器四极质谱等离子体 TE CO2 laser quadripole mass spectroscopy plasma

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用四极质谱定量分析方法观察了2kW TE CO_2激光器放电过程等离子化学现象.在16mA/cm~2电流密度条件下,CO_2分解量为初始注入量的20%,停止放电后基本恢复.系统达到均匀平稳约需半小时.CO_2的分解使输出功率约下降1.5%.输出功率随工作气体温度上升里线性下降趋势,下降速度约为38W/℃.未明显见到有害的NO_x生成.

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