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溶液法制备氧化物薄膜晶体管的研究
溶液法制备氧化物薄膜晶体管的研究
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanchishe0000
【摘 要】
:
随着高分辨率平板显示、大尺寸柔性电子器件以及传感器的快速发展,氧化物薄膜晶体管成为研究热点。总结和分析了溶液加工法制备的不同种类活性层材料金属氧化物薄膜晶体管的
【作 者】
:
王成群
【机 构】
:
深圳市志凌伟业技术股份有限公司研究部
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2021年2期
【关键词】
:
薄膜晶体管
氧化物
溶液加工法
迁移率
IGZO
thin film transistor
oxide
solution processing
mob
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随着高分辨率平板显示、大尺寸柔性电子器件以及传感器的快速发展,氧化物薄膜晶体管成为研究热点。总结和分析了溶液加工法制备的不同种类活性层材料金属氧化物薄膜晶体管的性能。
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