原子力显微镜探针原位有效参数对线宽测量的修正

来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：katou1234

【摘要】

：

针对原子力显微镜(AFM)的线宽和轮廓的精确测量,对AFM探针的原位有效参数进行了定义和表征,提出使用AFM探针的原位有效参数对AFM的线宽测量结果进行修正的模型.采用有效半径

【作者】

：

朱明智蒋庄德景蔚萱

【机构】

：

机械制造系统工程国家重点实验室,机械制造系统工程国家重点实验室

【出处】

：

计量学报

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

计量学原子力显微镜扫描探针线宽测量表征样板 Metrology Atomic force microscopy （AFM） Tip Linewidt

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

针对原子力显微镜(AFM)的线宽和轮廓的精确测量,对AFM探针的原位有效参数进行了定义和表征,提出使用AFM探针的原位有效参数对AFM的线宽测量结果进行修正的模型.采用有效半径和半内角表征AFM探针的复合形状,悬臂轴倾角表征探针的安装状态,设计了具有不同梯形截面的两个表征样板,通过对表征样板进行AFM和扫描电子显微镜(SEM)的比对测量获得了探针的原位有效参数.提出了在线宽测量中,当AFM的扫描轮廓线具有不同的斜度时分别采用的不同的修正公式.采用此公式和探针的原位参数对掩膜板的AFM线宽测量结果进行了修正

其他文献

矿渣粉磨入口温度智能控制系统的研究与应用

针对矿渣粉磨机入口温度受干扰因素多、滞后时间长及易超调的特点，根据实际生产过程和操作经验研制入口温度模糊控制模型.

期刊

矿渣粉磨滞后模糊控制模型

锦丰（烂泥沟）金矿地质特征及找矿方向浅析

锦丰（烂泥沟）金矿由磺厂沟复式向斜控制了矿体的空间分布,发育于磺厂沟复式向斜中的一系列断裂控制了矿床的产出位置,不同的岩性组合控制了矿体的具体产出层位.在矿床的形成过

期刊

锦丰(烂泥沟)断块差异运动成矿构造贵州贞丰锦丰(烂泥沟)Fault Block Differential Movement Metallogeneti

大光轴倾角的偏光干涉测量方法

针对偏光干涉法测量晶体光轴倾角存在精度低、范围小的缺点，提出了用相对光轴出露点的条纹数而不是距离来决定光轴倾角。将条纹数分为整数部分和小数部分，用非线性插值方法求解

期刊