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高纯溴化氢是一种理想的氟碳类蚀刻气体的替代品,其具有优异的蚀刻性能,被用于新一代微电子工业。综述了溴化氢的的制备工艺及纯化方法。在实际生产中,优先选用燃烧法制备溴化氢,再根据杂质种类和含量选择合适的纯化方法,得到高纯度的溴化氢产品。
高纯溴化氢的制备及纯化技术研究进展
【摘 要】
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高纯溴化氢是一种理想的氟碳类蚀刻气体的替代品,其具有优异的蚀刻性能,被用于新一代微电子工业。综述了溴化氢的的制备工艺及纯化方法。在实际生产中,优先选用燃烧法制备溴化氢,再根据杂质种类和含量选择合适的纯化方法,得到高纯度的溴化氢产品。
【机 构】
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昊华气体有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2021年3期
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