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期刊论文
微全分析系统中的MEMS技术
微全分析系统中的MEMS技术
来源 :现代科学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:reza777
【摘 要】
:
微全分析系统(μTAS)的研究和应用,近年来有了巨大发展.本文将着重叙述基于MEMS技术的μTAS的研究和发展,扼要介绍设计、制造μTAS的一些新技术、新材料和新方法,以及我们在
【作 者】
:
崔大付
【机 构】
:
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
:
现代科学仪器
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
微全分析系统
微电子机械系统
生物芯片
MEMS
TASMEMSBioMEMSBio Chip
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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微全分析系统(μTAS)的研究和应用,近年来有了巨大发展.本文将着重叙述基于MEMS技术的μTAS的研究和发展,扼要介绍设计、制造μTAS的一些新技术、新材料和新方法,以及我们在研制μTAS方面的一些进展.
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