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用多孔硅作为湿敏元件, 室温下在20 Hz～100 kHz 频率范围,湿度从11 %RH升至95 %RH进行实验.结果表明:不同测试频率对多孔硅湿敏元件有较大影响,低频范围测量灵敏度高;高频范围效果不佳.讨论了频率影响的机理,其理论分析和实验结果一致.
多孔硅湿敏元件的频率特性
【摘 要】
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用多孔硅作为湿敏元件, 室温下在20 Hz～100 kHz 频率范围,湿度从11 %RH升至95 %RH进行实验.结果表明:不同测试频率对多孔硅湿敏元件有较大影响,低频范围测量灵敏度高;高频范围
【机 构】
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郑州大学,郑州大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2005年4期
【基金项目】
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河南省高校杰出科研创新人才工程项目
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