大口径非球面精磨表面形状检测技术研究

来源 :光学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yqhbyctu

【摘要】

：

介绍了一种大相对口径非球面精磨阶段面形的测量方法原理及实现其功能的软件设计.利用机械接触式装置,通过长导轨及其光栅探头的高度变化来直接测量非球面的矢高,并把所测得

【作者】

：

唐健冠伍凡吴时彬

【机构】

：

中国科学院光电技术研究所,

【出处】

：

光学技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

zernike多项式最小二乘法波面局部插值法

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介绍了一种大相对口径非球面精磨阶段面形的测量方法原理及实现其功能的软件设计.利用机械接触式装置,通过长导轨及其光栅探头的高度变化来直接测量非球面的矢高,并把所测得的三维数据传输给计算机.经数据修正和预处理,通过MATLAB软件计算得到整个镜子的面形特征参数.其结果用来指导大口径非球面的精磨加工.

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