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介绍了一种电子回旋共振（ＥＣＲ）离子源的设计和结构．为了获得长寿命、高等离子密度以及高效传输微波功率，作者通过实验研究发现，利用合适的微波输入三层复合窗（石英、Ａｌ２Ｏ３陶瓷和ＢＮ）是很有效的，而且采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件（８７．５ｍＴ）和约束等离子体的轴向磁场．利用该离子源制备了Ｃ∶Ｎ团簇纤维．当引出电压为－５００Ｖ时，在靶室中的φ４０ｍｍ样品上能获得９０ｍＡ的离子流，其源的寿命可超过３００ｈ．