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针对微机电系统（Microeletro mechanical system，MEMS）技术和超精密加工技术局限，开展面向介观尺度微细铣削技术的研究。首先根据介观尺度铣削的加工特点，对其机理研究的关键问题进行详细的分析和讨论，提出微细铣削理论的研究重点及研究方法。然后在分析微细铣削成形条件和加工要求的基础上，开发微型铣床系统，并对系统各组成子系统及性能指标进行描述。最后开展机床加工性能评估试验，通过精度测量、误差分析和误差补偿提高工作台的定位精度达到1．62μm，采用直径0．127mm铣刀开展微铣削试验，通