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采用电子束蒸发工艺在普通玻璃衬底上制备了硫化镉（CAS）多晶薄膜，研究了不同衬底温度对薄膜结构、表面形貌及光透过率的影响。测试结果显示：（1）不同衬底温度下沉积的CdS薄膜均呈现了〈002〉晶向的高度优势生长，属于六方相结构。随着衬底温度的升高，还逐渐出现了〈103〉、〈004〉、〈105〉等六方晶向；（2）CdS多晶薄膜表面连续，致密性好，且晶粒大小随着衬底温度的升高而增大；（3）低温下制备CdS薄膜吸收谱有较宽的吸收边，随着衬底温度的升高，吸收曲线趋于陡直。制备样品在550nm波段后的平均透过率都超过