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直线位移传感器半个世纪的发展和主要市场直线位移传感器有光栅、磁栅、容栅、球栅和感应同步器,近十年来特别是光栅传感器及其测量仪表随着信息技术(IT)和制造技术(MT)的发展得到了相应的迅速发展.近50年来精密机械加工精度从1μm提高到0.01μm,提升了100倍,并且超精密加工已达1nm.
直线位移传感器发展的回顾和当今产品
【摘 要】
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直线位移传感器半个世纪的发展和主要市场直线位移传感器有光栅、磁栅、容栅、球栅和感应同步器,近十年来特别是光栅传感器及其测量仪表随着信息技术(IT)和制造技术(MT)的发
【机 构】
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中国科学院自动化研究所
【出 处】
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世界制造技术与装备市场
【发表日期】
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2005年1期
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