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在现有理论的基础上,设计出一种新型的AFM工作台扫描控制电路。介绍了该电路的设计思想,与现有的AFM控制系统相比,X、Y方向的运动采用闭环控制,提高了控制精度。文中还介绍了一种简单实用的PI调节电路,该电路具有结构简单、成本低、功耗小和控制精度高等优点。
AFM工作台扫描控制电路的设计
【摘 要】
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在现有理论的基础上,设计出一种新型的AFM工作台扫描控制电路。介绍了该电路的设计思想,与现有的AFM控制系统相比,X、Y方向的运动采用闭环控制,提高了控制精度。文中还介绍了
【机 构】
：
哈尔滨工业大学机电工程学院
【出 处】
：
机械工程师
【发表日期】
：
2006年08期
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