【摘 要】
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采用PC1D模拟软件对p型物理冶金多晶硅太阳电池的SiO2/Si Nx/SiNx叠层钝化减反射结构进行了计算模拟。结果表明:在SiNx/Si Nx双层减反射结构中引入SiO2钝化层后可以明显改善
【机 构】
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内蒙古日月太阳能科技有限责任公司,内蒙古大学物理科学与技术学院,内蒙古自治区半导体光伏技术重点实验室,内蒙古山路能源集团有限责任公司
【基金项目】
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呼和浩特市太阳能电池产业化工程研究中心创新能力建设项目资助(No.2014150103000018);呼和浩特市光伏系统工程技术研究中心项目资助(2014-39-8);呼和浩特市“十二五”重大科技专项资助项目(No.2012150103000167)
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采用PC1D模拟软件对p型物理冶金多晶硅太阳电池的SiO2/Si Nx/SiNx叠层钝化减反射结构进行了计算模拟。结果表明:在SiNx/Si Nx双层减反射结构中引入SiO2钝化层后可以明显改善电池的外量子效率与表面减反射效果,并最终提高电池转换效率;随着SiO2膜厚度的增加,电池表面反射率呈先降低后增加的趋势,而电池外量子效率及转换效率则呈现出相反的趋势。二氧化硅膜厚度在2~8 nm时,电池转换效率变化不大,并在6 nm时效率达到最大值18.04%,当二氧化硅膜厚度大于8 nm后电池转换效率会出现明显下降。
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