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来源 :微电子学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
集成工艺中控制图形发生器产生掩模图形的数据流文件的数据排列顺序优化,是一个其结点数可达数千个之多的大规模旅行商问题(从镜头架的位置,即每个矩形的矩心为结点),常规算
【作 者】
:
袁为民
余学鸣
【机 构】
:
上海交通大学,上海交通大学上海200030,上海200030
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1992年1期
【关键词】
:
集成工艺
蒙特卡罗算法
旅行商
Integrated technology
Exposure data stream
Monte Carlo method
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