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为了消除薄膜实际光学常数与理论光学常数差异对监控的影响，基于实测透射率光谱曲线，采用模拟退火（SA）算法对已镀膜层实际光学常数n、k、d进行数值反演；在应用模拟退火算法时，对于某一退火温度t，新解的查找范围根据新解的接受率来自适应控制，快速地找到更优的新解；当新解确定后，退温采用指数降温方式，其退温速率a的取值根据接受概率P的不同而变化，当连续退温后，满足终止条件，算法结束；算法经此改进后，应用在石英玻璃基底上镀制ZnS薄膜实例中，经验证，在较短的时间内找到n、k、d值，提高了优化速度与算法效率．