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本文提出用于制做点阵全息图的优化算法.该算法可以自动优化光刻图案的寻找范围,节省计算机在寻找光刻像素时的运算时间.根据该算法编制的点阵全息图制做系统控制软件能令系统在完成一个像素的光刻后迅速寻找出下一个光刻过程耗时最短像素,从而有效地提高了系统的工作效率.
一种制做点阵全息图的优化算法
【摘 要】
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本文提出用于制做点阵全息图的优化算法.该算法可以自动优化光刻图案的寻找范围,节省计算机在寻找光刻像素时的运算时间.根据该算法编制的点阵全息图制做系统控制软件能令系
【机 构】
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中国科学院广州电子技术研究所
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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2001年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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