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采用有限元理论建立Delta并联机器人弹性动力学模型，将弹性振动引起的位置和方向误差看作是对名义运动的摄动，得出动平台位形误差与结点位移的关系方程，作为评定机构运动精度的依据。在柔性构件上粘附阻尼层，消耗系统振动能量，抑制杆的横向振动，对杆的纵向振动采用压电作动器进行主动控制，兼顾响应与控制能量实现最优控制。实例显示，对机构综合采用以上两种振动抑制措施，可以将机构的振动水平控制在很低的水平。