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为了提高微型三坐标测量机粗定位平台的定位精度，在不增加新硬件的基础上，构建了由激光干涉仪、工控机和步进电机组成的粗定位闭环控制系统。并给出了步进电机在开环和闭环状态下的定位检测数据。检测结果表明：该系统明显地提高了步进电机的定位精度，满足了系统对于粗定位平台的定位要求。
微型三坐标测量机定位精度的研究
【摘 要】
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为了提高微型三坐标测量机粗定位平台的定位精度，在不增加新硬件的基础上，构建了由激光干涉仪、工控机和步进电机组成的粗定位闭环控制系统。并给出了步进电机在开环和闭环状态
【机 构】
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机械制造系统工程国家重点实验室,西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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2008年11期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（批准号：50575178）
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