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热驱动薄膜式微型泵的数值模拟
热驱动薄膜式微型泵的数值模拟
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JoanFang
【摘 要】
:
文中给出了对一种热驱动薄膜式微泵的数值模拟的方法与结果。
【作 者】
:
徐宁
胡桅林
过增元
【机 构】
:
清华大学工程力学系北京市100084
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
微型泵
优化
双金属
热驱动
数据模拟
MEMS
Micropump
Simulation
Optimization
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文中给出了对一种热驱动薄膜式微泵的数值模拟的方法与结果。
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