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【摘 要】
：
双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法,但由于需要严格的加工条件,很难获得理想的超光滑表面。设计了硅片双面抛光加工工艺新路线,并在新研制的双面抛光机上对硅晶片进行
【机 构】
：
浙江海洋学院,浙江工业大学
【出 处】
：
机械设计与制造
【发表日期】
：
2009年04期
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