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集成电路芯片制造过程采集大量在制品WIP和生产设备的数据,对采集的数据强化统计过程控制SPC的管理,加强对数据的各种实时监控,建立多种方式的报警,多形式的图形报表,以及相宜的SPC统计工具。通过提高过程稳定性和过程能力,加强对在制品稳定性和一致性的分析,可提高工程师现有的分析能力,从而有助于进一步提升制造能力。