【摘 要】
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太阳能硅片的制造工艺主要包括硅片的切割以及绒面制备两部分。本文介绍了外圆切割、内圆切割、多线切割及电火花线切割4种硅片的切割方法，综述了碱腐蚀、酸腐蚀、电化学腐蚀
【基金项目】
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基金项目：江苏省高技术研究计划项目（BG2007004）资助
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太阳能硅片的制造工艺主要包括硅片的切割以及绒面制备两部分。本文介绍了外圆切割、内圆切割、多线切割及电火花线切割4种硅片的切割方法，综述了碱腐蚀、酸腐蚀、电化学腐蚀等9种制绒工艺，并分析其适用范围和特点。提出随着太阳能技术的应用需求不断扩大和晶体硅原材料供应的短缺，大尺寸超薄硅片切割技术的发展趋势将日益明显。最后指出了电火花电解复合线切割具有切割与制绒一体化的特点，是硅片制造方法的一个发展趋势。
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