【摘 要】
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本文介绍了一种实用的对常见混合气体进行四极质谱定量分析的方法（包括分析步骤和典型实例）。该方法在气体激光、离子器件和电光源器件等方面获得了成功的应用。对分析结果的有
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本文介绍了一种实用的对常见混合气体进行四极质谱定量分析的方法（包括分析步骤和典型实例）。该方法在气体激光、离子器件和电光源器件等方面获得了成功的应用。对分析结果的有效性可用“有效性系数Ｐ０”进行评估，理论和实践证明该系数能表征定量分析的可信度。
This article presents a practical method for the quantitative analysis of common gas mixtures by quadrupole mass spectrometry (including analytical procedures and typical examples). The method has been successfully applied in gas lasers, ion devices and electric light source devices. The validity of the analysis results can be evaluated by the “validity coefficient P0”. The theory and practice prove that this coefficient can characterize the reliability of the quantitative analysis.
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