AlN/CrN纳米多层膜的制备及性能的研究

来源 :天津师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：sunjava2009

【摘要】

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采用多弧离子镀技术制备AlN/CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能.结果表明:在小调制周期下AlN会以立方结构存在,并与CrN层形成

【作者】

：

王晖亢原彬李德军

【机构】

：

天津师范大学物理与电子信息学院

【出处】

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天津师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2008年02期

【关键词】

：

多弧离子镀 AlN/CrN纳米多层膜硬度立方氮化铝

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采用多弧离子镀技术制备AlN/CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能.结果表明:在小调制周期下AlN会以立方结构存在,并与CrN层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变;AlN/CrN纳米多层膜硬度和弹性模量随着调制周期的减小呈现上升的趋势,当调制周期小于8 nm时其增速明显增大,并在调制周期为3.8 nm时达到最高硬度35.0 GPa和最高弹性模量405 GPa;AlN/CrN纳米多层膜的硬度和弹性模量在小调制周期时的升高与c-AlN的产生并和CrN形成的共格结构有关.

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