【摘 要】
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我们成功合成了TaN薄膜原子层淀积的高纯有机钽先驱物并使其特性化,同时对这些先驱物的汽压和热稳定性进行了研究.根据汽压分析发现,TBTEMT比所有其它已发表的液体TaN先驱物(
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我们成功合成了TaN薄膜原子层淀积的高纯有机钽先驱物并使其特性化,同时对这些先驱物的汽压和热稳定性进行了研究.根据汽压分析发现,TBTEMT比所有其它已发表的液体TaN先驱物(包括TBTDET、TAITMATA和IPTDET)具有更高的汽压.用1H NMR技术研究了这些烷基先驱物的热稳定性.结果表明,与乙二烯基先驱物相比,对于TBTDET和TBTEMT材料,特丁基群是最稳定的基群.TaN先驱物热稳定性按以下次序下降:TBTDET＞PDMAT＞TBTEMT.最后,通过对金属中央周围的配合基体进行轻微的调整使
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