掠入射凹面光栅谱仪高级次衍射光谱相对效率测量

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测量了波长2.847、3.373、4.027、9.873和10.24nm谱线的一级和高级次光谱强度。给出了以一级光谱强度为标准的高级次衍射光谱的相对效率,并对测量结果进行了分析、讨论。 The first- and higher-order sub-spectral intensities of the wavelengths 2.847, 3.73, 4.027, 9.873 and 10.24 nm were measured. The relative efficiency of advanced order diffraction spectra with first-order spectral intensity is given, and the measurement results are analyzed and discussed.
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