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采用Lennard-Jones和Morse势函数对Cu离子溅射不锈钢进行了溅射过程与饱和溅射剂量的分子动力学模拟.模拟结果表明:在溅射过程中,Cu将铁从其位置替换,或者在其间隙位置存在;表层Fe发生了晶格损伤,以一种无定型态存在;而扩散模型中,材料的表层发生了Cu的富集现象,X射线检测表明,该富集相为Cu3Fe4和Cu4 Fe.